激光反射鏡是激光光線傳輸系統(tǒng)中重要的元件。激光反射鏡是利用反射定律工作的光學元件。反射鏡按形狀可分為平面反射鏡、球面反射鏡和非球面反射鏡三種。在中小功率的激光光路中,反射鏡可以有兩方面的應用,在激光管內,反射鏡可作為尾鏡,該鏡片基底帶有一定的曲率,起到震蕩激光的作用。
在光學元件中為了傳輸高性能激光器的高光束能量,激光反射鏡片鍍膜的要求也提出了一個相對高的要求,對于超過17層的光學膜系,我們在生產(chǎn)中一般會使用氣相沉積來加工激光反射鏡。激光反射鏡所用的介質膜材料也是幾乎多是無吸收的材料,并且在某些特定的波長范圍能可以達到反射率99%例如:BK7玻璃、石英系列、單晶硅、鉬等基材。在中小功率的激光束中,多是選擇石英和玻璃基板,同事用鉬和硅作為基板,鉬反射鏡能在條件苛刻的環(huán)境中工作,并且使用壽命長,承受功率高,表面不需鍍膜,耐擦拭,缺點是反射率低。硅反射鏡是目前使用最多的反射鏡,擁有良好的光學熱力性。硅反射鏡表面鍍金鏌,提高反射率,生產(chǎn)的反射鏡在反射鏌層上再加鍍一層保護鏌,使得原有鏡片更耐擦拭從而提高使用壽命。
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